Комбинаторная установка плазменного напыления с 3 источниками магнетронного напыления

Источник питания

• Три источника питания для распыления объединены в один блок управления.

• Источник постоянного тока: мощность 500 Вт для покрытия металлических материалов.

• Источник RF: мощность 300 Вт, частота 13,56 МГц для покрытия непроводящих материалов.

Головка для магнетронного распыления

• В комплект входят три 2-  дюймовые головки для магнетронного распыления с рубашками водяного охлаждения и заслонками.

• Также доступна одна модель с распылительной головкой.

• Требование к целевому размеру: диаметр 2 дюйма

• Диапазон толщины: 0,1 - 5 мм для металлических и непроводящих целей (включая опорную пластину)

• Одна мишень из нержавеющей стали и одна мишень исследовательского класса Al2O3 включены для демонстрационного тестирования.

• Устройство для нанесения покрытий по индивидуальному заказу: два DC - один RF; Два RF - один DC; Три DC; Три РФ

Вакуумная камера

• Вакуумная камера: диаметр 300 мм. × 300 мм Высота, из нержавеющей стали

• Окно просмотра: две части диаметром 100 мм. стекло. Один фиксированный; один съемный для очистки и замены

• Крышка откидного типа с пневматической опорой позволяет легко менять цель

Образец Стадии

• Держатель образца представляет собой вращающийся и нагреваемый столик из керамического нагревателя с медной крышкой.

• Размер держателя образца: диаметр 140 мм. для. 4 дюйма, макс.

• Скорость вращения: 1-20 об / мин регулируется для равномерного покрытия

• Температура держателя регулируется от RT до 500 ° C макс (2 часа макс) с точностью +/- 1,0 ° C с помощью цифрового регулятора температуры.

Контроль расхода газа
  
 

• Установлены два прецизионных регулятора массового расхода (MFC), позволяющие вводить два типа газов.

• Скорость потока: 0 - 200 мл / мин и 0 - 100 мл / мин, регулируемая на панели управления с сенсорным экраном.

• Клапан впуска воздуха установлен для сброса вакуума

Вакуумная насосная станция

• Включена мобильная насосная станция. Установка для нанесения покрытий может быть размещена наверху станции.

• Высокоскоростной турбонасос со скоростью 80 л / с в сочетании с двухступенчатым механическим насосом (220 л / мин) для максимального уровня вакуума и более высокой скорости откачки

• Стандартный уровень вакуума, связанный с камерой: <4.0E-5 Торр. . (1.0E-6 Торр с камерной выпечкой)

Охладитель воды

В комплект входит один охладитель рециркуляционной воды с цифровым контролем температуры. 

• Диапазон охлаждения: 5 ~ 35 ° C

• Расход: 16 л / мин

• Давление насоса: 14 фунтов на квадратный дюйм

Габаритные размеры

Крышка закрыта: 48 дюймов × 28 дюймов × 32 дюйма      

Крышка открыта: 48 дюймов × 28 дюймов × 37 дюймов

Вес нетто устройства для нанесения покрытий

160 кг

Гарантия

Ограниченная гарантия сроком на один год с пожизненной поддержкой