3 вращающаяся мишень для плазменного напыления с нагревателем подложки

Выходная мощность

1600 В постоянного тока, 40 мА макс.

Вакуумная камера

• Вакуумная камера: 150 мм ID × 165 мм OD × 150 мм H, изготовлена ​​из кварца высокой чистоты

• Уплотнительный фланец из нержавеющей стали с плоским уплотнительным кольцом

Ступень для образцов с нагревателем

• Размер сцены: диаметр 50 мм.

• Диапазон расстояний распыления: 25-40 мм регулируется

• Вращающийся столик с тремя положениями распыления (управляется сенсорным экраном)

• Встроенный нагреватель подложки с максимальной температурой нагрева 500 ° C.

• ПИД-регулятор температуры с точностью +/- 1 ° C интегрирован в сенсорный экран

Панель управления

• 6-дюймовый цветной сенсорный экран со встроенным ПЛК для упрощения работы

• Вакуумметр, измеритель тока распыления и контроль температуры подложки интегрированы в сенсорную панель.

• Ручки регулировки на передней панели для управления впуском газа и током распыления

• Положение распыления, таймер распыления и запись процесса доступны с сенсорного экрана.

Щит

Защитный кожух из нержавеющей стали включен для дополнительной защиты

Мишени для распыления

• Требования к целевому размеру: диаметр 47 мм. × 2,5 мм макс.

• В стандартный комплект для немедленного использования входят три мишени:

• Мишень из золота, диаметр 47 мм. × 0,12 мм

• Мишень Ag, диаметр 47 мм. × 0,5 мм

• Медная мишень диаметром 47 мм. × 2,5 мм

• Вы можете заказать различные мишени в CYKY

Размеры

440 мм Д × 330 мм Ш × 455 мм В

Нетто

50 кг

Гарантия

Один год ограничен с пожизненной поддержкой

Ноты

ВЫСОКОЕ НАПРЯЖЕНИЕ! Распыляющие головки подключаются к высокому напряжению. В целях безопасности оператор должен выключить оборудование перед загрузкой образца и операциями смены мишени.

Эта модель не подходит для покрытия легких металлических материалов, таких как Al, Mg, Zn, Ni и т. Д., Из-за низкой энергии. Пожалуйста, обратите внимание на нашу машину для нанесения покрытий методом магнетронного распыления или термического напыления.