2-дюймовая установка для плазменного магнетронного напыления постоянного тока для проводящих тонких пленок

0р.
Производители
Модель: CY-MSP300S-DC
Склад Есть в наличии
Просмотров 783

Характеристики

  • Мощность 2000Вт
  • Напряжение питания 220VAC 50/60 Гц, однофазный

Описание товара

CY-MSP300S-DC - это компактная система магнетронного распыления с одним 2-дюймовым источником мишеней. Источник постоянного тока для покрытия металлических материалов. В комплект поставки входит трекер толщины пленки, позволяющий пользователю легко контролировать процесс обработки. Эта установка для нанесения покрытий предназначена для нанесения как одного, так и нескольких покрытий. пленочные слои для широкого спектра материалов, таких как сплав, сегнетоэлектрик, полупроводник, керамика, диэлектрик, оптика, PTFE и т. д. Его компактность и простота в эксплуатации делают его идеальной системой покрытия для использования в научно-исследовательских лабораториях.

Технические параметры:

Входная мощность

220VAC 50/60 Гц, однофазный

2000 Вт (включая насос)

Источник питания

Источник питания не является обязательным с одним источником питания RF

Источник постоянного тока: 500 Вт для покрытия металлических материалов (внизу слева)

Головка для магнетронного распыления

Одна 2-дюймовая головка для магнетронного распыления с кожухами водяного охлаждения входит в комплект для подключения дополнительного источника питания

Головка водяного охлаждения: требуется поток воды 10 мл / мин

Вакуумная камера

Вакуумная камера: диаметр 300 мм x высота 300 мм, изготовлена ​​из кварца высокой чистоты

Держатель образца

Размер держателя образца: 185 мм

Скорость вращения: регулируемая 1-20 об / мин

Температура держателя регулируется от RT до 500   Max с точностью +/- 1,0 ℃.

Вакуумная насосная станция

1. Высокоскоростная турбо-вакуумная насосная система устанавливается непосредственно на вакуумную камеру для макс. уровень вакуума 

2. Двухступенчатый механический насос для тяжелых условий эксплуатации подключен к турбонасосу для повышения скорости насоса.

3. В комплект входит мобильная насосная станция, и компактная установка для нанесения покрытия распылением может быть установлена ​​наверху станции.

4. макс. уровень вакуума: 10 ^ -6 торр при камерной выпечке

Монитор толщины

1. В камеру встроен прецизионный кварцевый датчик толщины для контроля толщины покрытия с точностью 0,10 Å.

2. Внешний блок светодиодного дисплея может:

Исходный материал для покрытия согласно базе данных прилагается

Отображение общей толщины покрытия и скорости нанесения покрытия

В комплекте 3,5 шт. Кварцевых датчиков (расходные материалы) 

4. требуется водяное охлаждение

Гарантия

Ограниченная гарантия сроком на один год с пожизненной поддержкой

Написать отзыв

Примечание: HTML разметка не поддерживается! Используйте обычный текст.
    Плохо           Хорошо
Защита от роботов


Наверх
Яндекс.Метрика