+7 (495) 646 49 88
с 9:00 до 20:00, zakaz@cykylab.ru
г.Долгопрудный, Промышленный пр-д, д.10
Двухголовочная система DC / RF для плазменного магнетронного напыления с монитором толщины

Двухголовочная система DC / RF для плазменного магнетронного напыления с монитором толщины

0 отзывов
0р.
Производители
Модель: CY-VTC-600-2HD
Склад Есть в наличии
Просмотров 751

Характеристики

  • Вес (кг) 160
  • Напряжение питания 220 В переменного тока 50/60 Гц, однофазный
  • Размеры Д1300мм × Ш660мм × В1200мм

Описание товара

    Двухголовочная система магнетронного плазменного напыления / установка для нанесения покрытий с магнетронным напылением CY-VTC-600-2HD - это компактная система магнетронного напыления с двумя 2-дюймовыми источниками мишеней, например, один источник постоянного тока для покрытия металлической пленки и другой источник радиочастотного излучения для покрытия неметаллических материалов. Устройство для отслеживания толщины пленки включено, чтобы пользователь мог легко контролировать процесс обработки. Это устройство для нанесения покрытий предназначено для нанесения как одного, так и нескольких слоев пленки на широкий спектр материалов, таких как сплав, сегнетоэлектрик, полупроводник, керамика, диэлектрик, оптика, ПТФЭ и т.д. при низкой стоимости.  

    Базовая информация

    • Номер модели: CY-VTC-600-2HD
    • Структура: Рабочий стол
    • Сертификация: CE, TUV
    • Тип: Тип измерения
    • Источник RF: 600 Вт
    • Контроль расхода газа: массовый расходомер
    • Торговая Марка: CY
    • Спецификация: диаметр 300 мм x высота 300 мм
    • Код ТН ВЭД: 85141090
    • Индивидуальные: Индивидуальные
    • Материал: нержавеющая сталь.
    • Применение: Лаборатория
    • Источник постоянного тока: 500 Вт
    • Вакуумная камера: нержавеющая сталь
    • Гарантия: один год
    • Транспортный пакет: деревянный ящик
    • Происхождение: Чжэнчжоу, Китай

    Спецификация

    Входная мощность220 В переменного тока 50/60 Гц, однофазный 
    2000 Вт (включая насос)
    Источник питанияДва источника питания для распыления интегрированы в один блок управления. 
    Источник постоянного тока: 
    500 Вт для покрытия металлических материалов. Источник ВЧ: 600 Вт с автоматическим согласованием для покрытия неметаллических материалов (в центре) 
    Источник ВЧ Compact 300 доступен за дополнительную плату
    Головка для магнетронного распыленияВ комплект входят две 2-дюймовые головки для магнетронного распыления с кожухами водяного охлаждения. 
    Одна из них подключается к ВЧ-источнику питания для непроводящих материалов. 
    Другая подключается к источнику питания постоянного тока для нанесения покрытий на металлические материалы. 
    Требуемый размер: диаметр 2 дюйма. 
    Диапазон толщины: 0,1 - 5 мм. как для металлических, так и для непроводящих целей 
    Для демонстрационных испытаний включены одна мишень из нержавеющей стали и одна керамическая мишень из Al2O3. 
    Водяное охлаждение головки: требуется поток воды 10 мл / мин, а для охлаждения обеих распылительных головок магнетронного типа включен один рециркуляционный охладитель воды 16 мл / мин. 
    Устройство для нанесения покрытий по индивидуальному заказу: две головки постоянного тока без радиочастотного распыления, радиочастотная головка без напыления постоянным током, 3 высокочастотные головки доступны по запросу
    Вакуумная 
    камера    		Вакуумная камера: диаметр 300 мм, высота 300 мм, изготовлена ​​из нержавеющей стали. 
    Смотровое окно: диаметр 100 мм. 
    Откидная крышка сверху с пневматической рессорой облегчает замену мишени.
    Держатель образцаРазмер держателя образца: диаметр 140 мм. для. 4-дюймовая пластина макс.  
    (Также может быть разработана в соответствии с вашими требованиями) 
    Скорость вращения держателя образца регулируется: 1–20 об / мин для равномерного покрытия 
    Температура держателя регулируется от комнатной температуры до 500 ° C Макс. С точностью +/- 1,0 ° C

    Контроль расхода газа    		Установлены два прецизионных цифровых MFC (контроллер массового расхода), позволяющие заполнять два типа газов. 
    Скорость потока: 200 мл / мин макс. 
    Скорость потока регулируется на 6-дюймовой сенсорной панели управления.
    Вакуумная насосная 
    станция    		Система высокоскоростного турбо-вакуумного насоса (производства Германии) устанавливается непосредственно на вакуумную камеру на макс. уровень вакуума 
    Двухступенчатый механический насос для тяжелых условий эксплуатации подключен к турбонасосу для увеличения скорости 
    насоса. В комплект входит мобильная насосная станция, и компактная установка для нанесения покрытия распылением может быть установлена ​​наверху станции. 
    Макс. уровень вакуума: 10 ^ -6 торр при камерной выпечке

    Монитор толщины    		Один прецизионный кварцевый датчик толщины встроен в камеру для контроля толщины покрытия с точностью 0,10 Å. 
    Светодиодный дисплей. Блок вне камеры может: 5 шт. Кварцевых датчиков (расходные материалы) включены. 
    Входной материал для покрытия в соответствии с базой данных прилагается. 
    Отображение общей толщины покрытия и покрытия. скорость 
    Требуется водяное охлаждение
    Габаритные 
    размеры    		Д1300мм × Ш660мм × В1200мм
    Нетто160 кг
    ГарантияОграниченная гарантия сроком на один год с пожизненной поддержкой
    Примечание по применениюЧтобы удалить кислород из камеры, рекомендуется использовать 5% водорода + 95% азота в камере клана 2-3 раза, что может снизить содержание кислорода до уровня ниже 10 ppm. 
    Для плазменного распыления используйте аргон чистотой> 5N. Несмотря на то, что чистота Ar 5N, обычно содержит 10-100 частей на миллион кислорода и H2O.

    Написать отзыв

    Примечание: HTML разметка не поддерживается! Используйте обычный текст.
        Плохо           Хорошо
    Защита от роботов


    Наверх
    Яндекс.Метрика