Трубчатая печь PECVD с системой рулонов
- Плазменный очиститель
- Аккумуляторное R&D оборудование
- Аксессуары
- Атмосферная печь
- Вакуумная печь
- Газоанализатор
- Лабораторная мельница и смеситель
- Лабораторное оборудование для нанесения покрытий
- Лабораторный гидравлический пресс
- Лабораторный электроспиннинг
- Магнетронное напыление
- Машина для нанесения покрытий Doctor-Blade
- Муфельная печь
- Окунание
- Перчаточные боксы
- Печь для выращивания кристаллов
- Плавильная печь
- Режущая пила
- Система CVD
- Система распыления пиролиза
- Стоматологическая печь
- Трубчатая печь
- Установка для плазменного напыления
- Устройство для нанесения покрытий с термическим испарением
- Центрифугирование
- Шлифовально-полировальный станок
- Шприцевой насос
Ваша корзина покупок пуста!
Характеристики
- RF стабильность ± 0,005%
- Выходная мощность 500 Вт
- Метод охлаждения Водяное охлаждение
- Точность вывода ± 1%
- Частота RF 13,56 МГц
Описание товара
Этот прибор представляет собой устройство для химического осаждения из паровой фазы (PECVD), оснащенное системой перемещения рулонов. Он не только используется в процессе непрерывной термообработки катанки, такой как подготовка углеродного волокна, модификация катанки из сплавов и других материалов, но также используется для непрерывного роста графена на катушке.
Оборудование состоит из пяти частей: системы перемещения рулона в рулон, открытой трубчатой печи с 2 зонами нагрева 1200 ℃, системы повышения концентрации полиэтилена в плазме, вакуумной системы и трехканальной системы газового смесителя массового расходомера. Вся машина может работать в условиях защиты вакуума / атмосферы.
Скорость намоточного устройства можно регулировать от 1 до 400 мм / мин, а механизм имеет регулировку с обратной связью, которая может автоматически корректировать отклонение скорости и обеспечивать стабильность скорости образца, тем самым обеспечивая точность эксперимента.
Технические параметры рулонной трубчатой печи PECVD:
|
1200 ℃ трубчатая печь с двумя зонами нагрева |
напряжение |
220 В переменного тока, 50 Гц |
|
максимальная мощь |
3кВт |
|
|
Зона нагрева |
Двойные зоны 200 мм + 200 мм |
|
|
Рабочая температура |
≤ 1200 ℃ |
|
|
Точность температуры |
± 1 ℃ |
|
|
Метод контроля температуры |
30-ступенчатая кривая процесса AI-PID, может хранить несколько |
|
|
Материал трубки |
Кварц высокой чистоты |
|
|
Размер трубки |
φ80 мм ID x 1400 мм L |
|
|
Режим запечатывания |
Вакуумный фланец из нержавеющей стали |
|
|
Измерение вакуума |
Измеритель сопротивления |
|
|
Рабочий газ |
Некоррозионные газы, такие как водород, азот, аргон и кислород |
|
|
Вакуумный насос |
Биполярный пластинчато-роторный вакуумный насос |
|
|
Максимальный вакуум |
10 ^ -1 Па |
|
|
Трехканальный массовый расходомер |
Тип клапана |
Игольчатый клапан из нержавеющей стали |
|
Газовые каналы |
Трехходовой |
|
|
Диапазон давления |
0,05 ~ 0,3 МПа |
|
|
Ассортимент |
0 ~ 100 SCCM (Ar) 0 ~ 200 SCCM (H2) 0 ~ 500 SCCM (CH4) |
|
|
Диапазон регулирования расхода |
± 1,5% |
|
|
Объем смесительного бака |
750 мл |
|
|
Материал газового тракта |
304 нержавеющая сталь |
|
|
Интерфейс трубы |
6,35 мм соединение типа прикус |
|
|
Источник питания |
AC220V 50 Гц |
|
|
Мощность RF |
Выходная мощность |
500 Вт |
|
Точность вывода |
± 1% |
|
|
Частота RF |
13,56 МГц |
|
|
RF стабильность |
± 0,005% |
|
|
Метод охлаждения |
Водяное охлаждение |