Система CVD высокого вакуума с двумя зонами нагрева 1200 ℃ с 3-канальным массовым расходомером CY-O1200-50IIT-3Z-HV
- Плазменный очиститель
- Аккумуляторное R&D оборудование
- Аксессуары
- Атмосферная печь
- Вакуумная печь
- Газоанализатор
- Лабораторная мельница и смеситель
- Лабораторное оборудование для нанесения покрытий
- Лабораторный гидравлический пресс
- Лабораторный электроспиннинг
- Магнетронное напыление
- Машина для нанесения покрытий Doctor-Blade
- Муфельная печь
- Окунание
- Перчаточные боксы
- Печь для выращивания кристаллов
- Плавильная печь
- Режущая пила
- Система CVD
- Система распыления пиролиза
- Стоматологическая печь
- Трубчатая печь
- Установка для плазменного напыления
- Устройство для нанесения покрытий с термическим испарением
- Центрифугирование
- Шлифовально-полировальный станок
- Шприцевой насос
Ваша корзина покупок пуста!
Характеристики
- Диаметр трубки 50 мм
- Длина зоны нагрева 200 мм + 200 мм
- Длина топочной камеры 440 мм
- Длина трубки 1000 мм
- Материал трубки Кварц высокой чистоты
Описание товара
Система химического осаждения из паровой фазы с двумя зонами нагрева 1200 ℃ состоит из трубчатой печи с двумя зонами нагрева, трехканального поплавкового расходомера и молекулярного насоса высокого вакуума. Две зоны нагрева трубчатой печи независимо регулируются температурой с помощью точного прибора контроля температуры. Регулируя температуру каждой температурной зоны, трубчатая печь может формировать два температурных градиента в зоне нагрева или формировать длинную зону постоянной температуры. Каждую зону можно редактировать с помощью 30 секций программы повышения и понижения температуры, с защитой от перегрева и короткого замыкания. Фланцы с обеих сторон трубы печи оснащены цифровым манометром и механическим манометром, которые могут использоваться для контроля атмосферы в трубе печи. В то же время, Трубчатая печь управляется с помощью цветного сенсорного экрана высокой четкости, который прост в использовании. Даже непрофессионалы могут освоить использование прибора после простого обучения, что может значительно повысить эффективность вашего эксперимента.
Система также оснащена прецизионным молекулярным насосом, который может достигать уровня вакуума 1.0E-3pa, что может предоставить пользователям более чистую и более строгую экспериментальную среду, чем обычные механические насосы.
Применение системы CVD с высоким вакуумом с двумя зонами нагрева 1200 ℃:
Он подходит для высокотемпературного спекания, отжига металлов, контроля качества и т. Д. В университетах, научно-исследовательских институтах, промышленных и горнодобывающих предприятиях, особенно для экспериментов CVD, требующих различных сред смешения газов.
Технические параметры системы CVD с двумя зонами нагрева 1200 ℃:
|
Вакуумная трубчатая печь |
Модель |
CY-O1200-50IIT |
||
|
Материал трубки |
Кварц высокой чистоты |
|||
|
Диаметр трубки |
50 мм |
|||
|
Длина трубки |
1000мм |
|||
|
Длина топочной камеры |
440 мм |
|||
|
Длина зоны нагрева |
200 мм + 200 мм |
|||
|
Рабочая Температура |
0 ~ 1100 ℃ |
|||
|
Точность контроля температуры |
± 1 ℃ |
|||
|
Режим контроля температуры |
30- или 50-сегментный программный контроль температуры |
|||
|
Режим отображения |
ЖК-дисплей |
|||
|
Метод герметизации |
Вакуумный фланец из нержавеющей стали 304 |
|||
|
Фланцевый интерфейс |
Соединитель с наконечником 1/4 ", соединение KF16 / 25/40 |
|||
|
Вакуум |
4.4E-3Pa |
|||
|
Источник питания |
AC: 220 В 50/60 Гц |
|||
|
Система газоснабжения |
Модель |
CY-3Z |
||
|
Газовый канал |
3-канальный |
|||
|
Единица измерения |
Расходомер газа |
|||
|
Диапазон измерения |
Канал: 0 ~ 100SCCM H2 газ |
Примечания: Если вам нужны другие диапазоны или типы газа, это необходимо указать при заказе. В соответствии с конкретными требованиями заказчика может быть выбран расходомер соответствующего типа и диапазона газа. |
||
|
Канал B: 0 ~ 300SCCM N2, газ |
||||
|
Канал C: 0 ~ 500SCCM газ Ar |
||||
|
точность измерения |
± 1,0% полной шкалы |
|||
|
Сопротивление трубы давлению |
3 МПа |
|||
|
Разница рабочего давления |
50 ~ 300 кПа |
|||
|
Соединительная труба |
304 нержавеющая сталь |
|||
|
Газовый канал |
Игольчатый клапан из нержавеющей стали 304 |
|||
|
Спецификация интерфейса |
Соединитель с наконечником 1/4 дюйма для входа и выхода газа |
|||
|
Система вытяжки |
Модель |
CY-GZK103-A |
||
|
Молекулярный насос |
CY-600 |
|||
|
Резервный насос |
Пластинчато-роторный насос |
|||
|
Скорость откачки |
Молекулярный насос: 600 л / с |
Всесторонняя производительность перекачки газа: 30 минут вакуум может достигать: 1.0E-3Pa |
||
|
Пластинчато-роторный насос: 1,1 л / с |
||||
|
Насосный интерфейс |
KF40 |
|||
|
Выхлопной интерфейс |
KF16 |
|||
|
Измерение вакуума |
Составной вакуумметр: датчик сопротивления + датчик ионизации |
|||
|
Максимальный вакуум |
1.0E-5 Па |
|||
|
Источник питания |
AC: 220 В 50/60 Гц |
|||
