Лабораторная установка для нанесения покрытий с двумя головками постоянного / высокочастотного излучения, 2 дюйма, магнетронное плазменное напыление-CY-600-2HD

Источник питания

1. два источника питания для распыления интегрированы в один блок управления

2. Источник постоянного тока: 500 Вт для покрытия металлических материалов.

3.Источник RF: 600 Вт с автоматической синхронизацией для покрытия неметаллических материалов (Центр)

Источник 4.Compact 300 RF доступен за дополнительную плату.

Головка для магнетронного распыления

1. В комплект входят две 2-дюймовые головки для магнетронного распыления с кожухами водяного охлаждения.   
     Одна из них подключается к высокочастотному источнику питания для непроводящих материалов.   
     Другая подключается к источнику постоянного тока для распыления для покрытия металлических материалов.

2. Требование к размеру мишени: диаметр 2 дюйма

3.Диапазон толщины: 0,1 - 5 мм для металлических и непроводящих целей.

4. Одна мишень из нержавеющей стали и одна керамическая мишень из Al2O3 включены для демонстрационного тестирования.

5. водяное охлаждение головки: требуется поток воды 10 мл / мин, и один 
     охладитель воды с рециркуляцией 16 мл / мин с цифровым  управлением включен для охлаждения обеих распылительных 
     головок магнетрона. 

6. индивидуальное устройство для нанесения покрытий: две головки постоянного тока без распыления RF, головка RF без распыления  
     постоянного тока, 3 головки RF доступны по запросу.

Вакуумная камера

1.Вакуумная камера: диаметр 300 мм x высота 300 мм, изготовлена ​​из нержавеющей стали

2. окошко наблюдения: диаметр 100 мм

Держатель образца

1. размер держателя образца: диаметр 140 мм. для. 4 дюйма, макс.

2. Скорость вращения держателя образца регулируется: 1-20 об / мин для равномерного покрытия.

3. температура держателя регулируется от RT до 500 ° C Max с точностью +/- 1,0 ° C.

Контроль расхода газа

1. скорость потока: 200 мл / мин макс.

2. Скорость потока регулируется на 6-дюймовой сенсорной панели управления.

Вакуумная насосная станция

Система высокоскоростного турбо-вакуумного насоса устанавливается непосредственно на вакуумную камеру 
      на макс. уровень вакуума 

Двухступенчатый механический насос для тяжелых условий эксплуатации подключен к турбонасосу для увеличения  
     скорости насоса

В комплект входит мобильная насосная станция, и компактная установка для нанесения покрытия распылением может быть установлена 
     поверх станции.

Максимум. уровень вакуума: 10 ^ -6 торр при камерной выпечке     

Монитор толщины

В камеру встроен один прецизионный кварцевый датчик толщины для контроля 
     толщины покрытия  с точностью 0,10 Å.  

Светодиодный дисплей вне камеры может:

Исходный материал для покрытия согласно базе данных прилагается

Отображение общей толщины покрытия и скорости нанесения покрытия

 В комплекте 5 кварцевых датчиков (расходные материалы) 

Требуется водяное охлаждение

Габаритные размеры

Д6600мм × Ш660мм × В1200мм

Примечание по применению

Чтобы удалить кислород из камеры, предложите 
     2-3 раза использовать 5% водорода + 95%  азота в камере клана, что может снизить содержание кислорода до уровня ниже 10 ppm.

Для плазменного распыления используйте аргон чистотой> 5N. Несмотря на то, что чистота Ar 5N, обычно содержит 10-100 частей на миллион кислорода и H2O.

Нетто

160 кг

Гарантия

Ограниченная гарантия сроком на один год с пожизненной поддержкой