Две зоны 1200 ° C Макс. Трубчатая печь с наружным диаметром 80 мм с испарителем жидкости, датчиками влажности и H2 и запорным клапаном

Строительство печи

Двойной кожух с охлаждающими вентиляторами

Волокнистая изоляция из оксида алюминия высокой чистоты для макс. сохранение энергии

Раздельная крышка обеспечивает более быстрое охлаждение и простоту эксплуатации

Детектор водорода и электромагнитный клапан включены для мер безопасности 

Жидкостный испаритель нагревается с помощью прецизионного регулятора температуры для смешивания водорода и жидкого пара.

Водородная газовая печь должна быть помещена под вытяжной шкаф, который не входит в комплект. 

Мощность

4 кВт макс. 

Входное напряжение

AC 208 - 240 В, однофазный (требуется воздушный выключатель на 30 А)

Нагревательные элементы

FeCr27Al7MO2

Длина зоны нагрева

Две зоны нагрева: 8"(200 мм) длина каждой зоны, 16"(400 мм) общая Зона постоянной температуры: 150 мм в пределах +/- 1 ℃,  когда две зоны настроены на одинаковую температуру

Однородность температуры

+/- 1° C в зоне нагрева

Непрерывная рабочая температура

1100° C 

Рекомендуемая скорость нагрева

10 ° C / мин

Обработка труб и фланцев

Кварцевая трубка высокой чистоты:  Φ 80 (OD) × Φ 74 (ID) × 1000 L, мм

Вакуумный фланец: включены фланцы SS304 для достижения вакуума до 10^ - 5 торр турбонасосом.

Регуляторы температуры     

Два сертифицированных MET цифровых контроллера температуры с 30 программируемыми сегментами для точного управления скоростью нагрева, скорости охлаждения и времени выдержки.

Встроенная функция автонастройки ПИД-регулятора с защитой от перегрева и поломки термопары.

Защита от перегрева и сигнализация позволяют работать без обслуживающего персонала.

Точность температуры +/- 1 ºC.

Порт RS485 установлен перед панелью для подключения к ПК

Модуль управления ПК и программное обеспечение включены для компьютеризированного контроля температуры.

Поплавковый расходомер

На газовых патрубках установлены два расходомера 50-500 мл / мин. 

Один расходомер предназначен для подачи водорода, а другой - в основном для газа CVD с жидким паром.

Дополнительный расходомер предоставляется по запросу за дополнительную плату.

Вы можете рассмотреть возможность использования нашей АЗС массового расхода 1-9 каналов для более точного контроля газа. 

Барботер / испаритель жидкости

Такой испаритель жидкости подходит для жидких источников и доставки химических прекурсоров в процессах CVD.

Включен один контейнер из нержавеющей стали емкостью 600 мл (80OD x 200H, мм)

Емкость вставляется в небольшой цилиндрический нагреватель с теплоизоляцией.

Емкость нагревается до 250° C и контролируется прецизионным программируемым контроллером температуры.

Два игольчатых клапана SS и один манометр встроены в емкость.

Монитор влажности 

    (в комплекте)

Один прецизионный датчик влажности подключается к фланцу технологической трубы с помощью адаптера KF25.

Диапазон измерения: 0 - 100 % относительной влажности с точностью 1,5 % полной шкалы или -60  º ~ +60º DP с +/- 0,3º точность.

Советы: Вы можете отрегулировать температуру испарителя (вода внутри) и расход газа H2 для достижения желаемого уровня влажности.

Система детектора водорода
 (в комплекте)

Диапазон рабочих температур: 40ºОт F до + 149  ºF (от -40 ºC до + 65   ºC)

Точка срабатывания сигнализации: линия H2 с ограничением взрывоопасности 10 % (10 % НПВ). После обнаружения газа H2 за пределами точки, он автоматически перекроет впускной клапан для H2.  

Гарантия

Ограниченная гарантия сроком на один год (на расходные материалы, такие как технологические трубки, уплотнительные кольца и нагревательные элементы, гарантия не распространяется). 

Размеры печи

1400 × 600 × 1200 mm 

Вес нетто продукта

100 кг 

Предупреждение

Трубчатые печи с глиноземными трубками предназначены для работы в условиях вакуума и низкого давления <0,12 атм (абсолютное давление).

Скорость потока газов должна быть ограничена до <200 SCCM (или 200 мл / мин) для уменьшения тепловых ударов по трубке.

Внимание: двухступенчатый регулятор давления должен быть установлен на газовом баллоне, чтобы ограничить давление ниже 3 фунтов на квадратный дюйм для безопасной работы. 

Определение предела вакуума для всех кварцевых трубчатых печей: * Давление вакуума можно безопасно использовать только до 1000° C