Лабораторная мини-печь pecvd с компактной трубчатой ​​печью, высокочастотным генератором и газовым смесителем-CY-O1200-50IS-PECVD

Модель №.

CY-O1200-50IS-PECVD

Частота RF

13,56 МГц 0,005% стабильность

Выходная мощность

5-300 Вт регулируется со стабильностью ± 1%

Выходной порт RF

50 Ом, тип N, розетка

Соответствие

Автоматический

Дисплей

Светодиодный цифровой датчик

Предельная температура

1200 ℃

Рабочая температура

≤1100 ℃

Степень нагрева

0-20 ℃ / мин

Длина зоны нагрева

200 мм, зона постоянной температуры: 80 мм

Диаметр кварцевой трубки

OD50 * 1000 мм

Точность температуры

± 1 ℃

Нагревательный элемент

Сплав Fe-Cr-Al принимает Mo

Тепловая пара

K ТИП

Метод охлаждения

Двухслойная структура с вентиляторным охлаждением

Контроль температуры

30-ступенчатое программируемое ПИД-регулирование

Материал камеры

Глиноземное волокно

Вакуумный насос

Ротационный механический вакуумный насос: 10-2 Торр
Турбонасос с роторным вакуумным насосом: 10-5 Торр

Метод охлаждения

Воздушное охлаждение

Соединительная труба

сильфон из нержавеющей стали, ручной откидной клапан

Газовый смеситель

4-х ходовой смеситель газа

Точность

± 2 ％ полной шкалы

Повторяемость точности

± 0,2% полной шкалы

Линейная точность

± 1 ％ полной шкалы

Рабочее давление:

-0,1 МПа ~ 0,15 МПа

MFC1 Диапазон

0 ~ 100 см

MFC2 Диапазон

0 ~ 200 см

MFC3 Диапазон

0 ~ 200 см

MFC4 Диапазон

0 ~ 500SCCM

Рабочее напряжение

220 В переменного тока, 50 Гц