Печь для выращивания монокристаллов с четырьмя электродами Дуговая плавка до 3000 ℃

Вакуумная камера

1. Принять камеру из нержавеющей стали 304 с рубашкой водяного охлаждения, которая может впускать охлаждающую воду.

2. С кварцевым окном на камере для наблюдения за образцом.

3. Вакуум в камере: 1.0E-5 Торр (с молекулярным насосом)

4. Размер камеры: диаметр 257 * 360 мм

вакуумметр

1. На камере установлены антикоррозийный вакуумметр с цифровым дисплеем и механический манометр.

Дуговая пушка

1. Имеются 4 дуговые пушки, которые могут обеспечить однородное температурное поле образца (дуговые пушки оснащены охлаждающей водой).

2. Диаметр вольфрамового электрода: Φ4 мм.

3. Угол и расстояние дуговой камеры до образца можно регулировать вручную.

4. Источник питания для зажигания дуги: 18 В / 185 А, напряжение 380 В

5. Температура плавления может достигать 3000 ℃.

Примерный этап

1. Используйте медный тигель с водяным охлаждением.

2. Количество образца, которое можно ввести, составляет 60 г (на основе Fe).

Механизм тяги

1. Контроллер контролирует скорость тяги, скорость вращения тягового механизма.

2. Скорость вытягивания: 0,2-10 мм / ч

3. Ход вытягивания: 0-70 мм

4. Скорость вращения тяги: 0-40 об / мин.

Устройство управления

1. Параметры роста монокристалла могут быть отображены и установлены (ток зажигания дуги, скорость тяги, ход тяги и скорость)

Вакуумный насос

1. Оборудование оснащено системой молекулярного насоса (механический насос + турбомолекулярный насос).

2. Скорость откачки: 100 л / с

3. Вакуум в камере оборудования может достигать 1.0E-5 Торр (в течение 40 минут).

Чиллер с циркуляцией воды

1. Мощность: 800 Вт

2. Скорость потока воды: 58 л / мин.

3. Холодопроизводительность: 5004 Вт (17500 БТЕ / час)

4. Контроль температуры: 5 ~ 30 ℃.

Размер продукта

800 мм (L) * 800 мм (W) * 1500 мм (H)