Оборудование для магнетронного распыления / вакуумного напыления композитных покрытий CY-MSE300S-DC

Примерный этап

Размер

Φ 185 мм

Точность контроля температуры

± 1 ℃

Скорость вращения

1-20 об / мин регулируется

Ток распыления

2 ~ 20 мА

Напряжение распыления

1000 В

Источник испарения

Корзина из вольфрамовой проволоки

Максимальная температура

1700 ℃

Точный контроль температуры

30-сегментная программа температуры подъема и опускания может быть установлена

Вакуумная камера

Размер камеры

φ300 мм × 300 мм

Окно просмотра

φ100 мм

Материал камеры

Нержавеющая сталь

Метод открытия

Сверху над открытым

Монитор толщины пленки

Компоненты мониторинга

Источник питания

5 В постоянного тока (± 10%), максимальный ток 400 мА

Разрешение по частоте

± 0,03 Гц

Разрешение толщины пленки

0,0136Å (алюминий)

Точность толщины пленки

± 0,5%, в зависимости от условий процесса, особенно положения датчика, напряжения материала, температуры и плотности

Скорость измерения

100 мс-1 с ​​/ раз, настраиваемый

Диапазон измерения

500000Å (алюминий)

Стандартный сенсорный кристалл

6 МГц

Компьютерный интерфейс

Последовательный интерфейс RS-232/485 (можно установить скорость 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400, бит данных: 8, стоповый бит: 1, проверка: нет)

Аналоговый выход

8-битное разрешение, выход с широтно-импульсной модуляцией ШИМ (открытый коллектор или внутренний выход 5 В)

Рабочая обстановка

Температура 0-50 ℃, влажность 5% -85% относительной влажности, без капель конденсата

Диспетчер

Входная мощность

220 В переменного тока ± 10%

Выходная мощность

Постоянный ток 5В 3А

Диспетчер

Цифровая лампа 12 × 2 и светодиод

Коммуникационный порт

RS-485 (можно установить скорость передачи 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400, бит данных: 8 бит, стоповый бит: 1 бит, четность: нет)

Зонды

Применимая частота пластины

6 МГц

Применимый размер пластины

Φ 14 мм

Крепежный фланец

CF35

Труба охлаждающей воды

Φ 3 мм, длина 00 мм, 500 мм, 1000 мм

Давление охлаждающей воды

<0,3 МПа

Пневматическая перегородка

Φ3мм

Температура выпечки

Состояние водоснабжения <200 ℃, безводный фланец <100 ℃

Электрический интерфейс

BCN розетка

Массовый расходомер

2 канала; диапазон измерения 100 см3; 100 кв.м. (можно настроить в соответствии с потребностями клиента)

Вакуумная система

Модель

CY-GZK103-A

Насосный интерфейс

KF40

Молекулярный насос

CY-600

Выхлопной интерфейс

KF16

Резервный насос

Пластинчато-роторный насос

Измерение вакуума

Составной вакуумметр

Максимальный вакуум

1.0E-5 Па

Источник питания

AC; 220 В 50/60 Гц

Скорость откачки

Молекулярный насос: пластинчато-роторный насос 600 л / с: 1,1 л / с. Всесторонняя перекачивающая способность: вакуум может достигать 1,0–3 Па за 20 минут.

Дополнительные аксессуары

Различные цели, такие как золото, индий, серебро и платина.

Гарантия

Один год гарантии, пожизненная техническая поддержка.