ВЧ плазменный магнетронный распылитель для тонких непроводящих пленок

Источник питания

Один ВЧ-генератор мощностью 13,5 МГц, 300 Вт с функцией автоматического согласования встроен в шкаф и подключен к распылительной головке 2 дюйма. 

Головка для магнетронного распыления

• Одна 2-  дюймовая головка для магнетронного распыления с рубашками водяного охлаждения входит в комплект и вставляется в кварцевую камеру с помощью быстрого зажима.

• Одна заслонка построена на фланце (с ручным управлением)

• Один охладитель циркуляционной воды с цифровым управлением мощностью 16 л / мин установлен на нижнем шкафу для охлаждения распылительных головок магнетрона.

Мишень для распыления

• Требование к целевому размеру: диаметр 2 дюйма × толщина 1/4 дюйма Макс.

• Одна мишень SiO2 включена для демонстрационного теста.

• Керамическая мишень из Al2O3 Рекомендуемый метод нанесения покрытия

Вакуумная камера
  
 

• Вакуумная камера: внешний диаметр 160 мм × внутренний диаметр 150 мм × высота 250 мм. изготовлен из кварца высокой чистоты

• Уплотняющий фланец: диаметр 165 мм. из алюминия с высокотемпературным силиконовым уплотнительным кольцом

• В комплект входит сетчатая крышка из нержавеющей стали для 100% экранирования радиочастотного излучения из камеры.

• Уровень вакуума: 1.0E-2 Торр с включенным двухступенчатым механическим насосом и 1.0E-5 Торр с дополнительным турбонасосом

Держатель образца

• Держатель образца вращающийся и нагреваемый, изготовлен из керамического нагревателя с крышкой из нержавеющей стали.

• Размер держателя образца: диаметр 50 мм. для 2-дюймовой пластины макс.

• Скорость вращения регулируется: 1-10 об / мин для равномерного покрытия.

• Температура держателя регулируется от RT до 400 ° C Max с точностью +/- 1,0 ° C с помощью цифрового контроллера температуры.

Вакуумная насосная станция
  
 

• KF25 Вакуумный порт встроен для подключения к вакуумному насосу.

• Уровень вакуума: 1.0E-2 Торр с включенным двухступенчатым механическим насосом

Габаритные размеры

650 мм Д x 650 мм Ш x 1630 мм В             

Нетто

70 кг

Гарантия и соответствие

Ограниченная гарантия сроком на один год с пожизненной поддержкой