Установка для нанесения покрытий магнетронным распылением с тремя источниками распыления с ИБП

Напряжение питания

220 В переменного тока, 60 Гц

UPS

20кВА 16кВт, задержка 1 час

16 аккумуляторов, емкостью 38Ач

Вакуумная камера

Размер: диаметр. 325 мм * В 385 мм

Материал: нержавеющая сталь 304

Окно обзора: ~ 4 дюйма (100 мм) со шторкой

Образец Стадии

Держатель верхнего образца

Таблица образцов: Dia. 150 мм

Размер выборки: Макс. Диаметр 4 дюйма

Скорость вращения: регулируемая 0-40 об / мин

Температура нагрева: до 700 ℃

Охладитель воды

Расход воды: 2,3 м 3 / ч

Мощность: 3P

Мощность охлаждения: 8250 ккал / ч

Выходная мощность компрессора: 2,25 кВт

Пистолет для магнетронного распыления

3 × 2 '' магнетронные распылители с автоматическим затвором

Ориентация распыления вверх

Диаметр мишени: 2 дюйма

Магниты: редкоземельный магнит

RF генератор

3 блока питания RF 300 Вт с автоматическим согласованием

Диапазон выходной мощности: 5 Вт ~ 300 Вт

Максимальная отраженная мощность: 100 Вт

Стабильность мощности: ± 0,1%

Гармоническая составляющая: ≤-50 дБн

Источник питания: однофазный 187-253 В переменного тока, 50/60 Гц

Эффективность: ≥70%

Коэффициент мощности: ≥90%

Отраженная мощность (при максимальной мощности): <3 Вт

Максимальный ток нагрузки: 30 ARMS

Максимальное напряжение нагрузки: 7500VRMS

Выходной разъем RF: 50 Ом, L29 или индивидуальный

Время матча: 1 ~ 3 с

Диапазон действительной части согласованного импеданса: 0 ~ 80 Ом

Диапазон мнимой части согласованного импеданса: 200j ~ 200j

Способ охлаждения: принудительное охлаждение

Массовый расходомер

3 × контроль массового расхода MFC (Ar, O2 и N2)

Диапазоны измерения: до 20 см3

С пневматическим запорным клапаном (ами) и фильтром.

Полное автоматическое управление с ПК или ПЛК для управления

Магазин минимум 100 рецептов 

19 '' плоский контроллер