Система термического испарения из четырех источников с точным регулятором температуры

Контроль температуры и нагреватели

• Четыре тигля для испарения оксида алюминия емкостью 3 мл каждый. Четыре источника нельзя использовать одновременно. Многослойные депозиты будут производиться один за другим.

• Нагреватель вольфрамовой спирали с термопарой встроен в дно глиноземного тигля (для контроля температуры).

• Стандартная термопара типа S (в комплекте и установлена) - нагрев от 200 ℃ -1500 ℃

• Дополнительная термопара типа B (за дополнительную плату) - нагрев от 1200 ℃ -1700 ℃

• Один цифровой контроллер температуры с 30 программируемыми сегментами и  точностью +/- 1 ℃ .

• Настройки времени терморегулятора указаны в секундах. Рекомендуется ограничить скорость нагрева / охлаждения до 0,3 ℃ / с (или 20 ℃ / мин) ниже 1200 ℃ , и ограничить до 0,15 ℃ / с (или 10 ℃ / мин) от 1200 ℃ -1700 ℃.

• Для непрерывного нагрева выше 1300 ℃ , пожалуйста, ограничьте время работы до менее 1 часа, чтобы продлить срок службы уплотнительного кольца нижнего фланца.

• Для быстрого нанесения покрытия при температуре до 2000 ℃ , например, при нанесении углеродного покрытия, пользователь может удалить термопару, термоблок из оксида алюминия и тигель из оксида алюминия, загрузить испаряемый материал непосредственно в нагреватель вольфрамовой спирали и использовать текущий режим ручного управления.

• В комплект входят четыре глиноземных тигля (до 1700 ℃ ) и два вольфрамовых нагревателя.

Поворотный держатель образца

• Один диаметром 50 мм. поворотный столик для проб и его заслонка установлены на верхнем фланце.

• Скорость вращения: 5 об / мин

• Расстояние от держателя образца до источника испарения регулируется от 40 мм до 85 мм.

Вакуум

• Вакуумный порт KF25 установлен для подключения к вакуумному насосу.

• Максимальный вакуум может достигать <1E-5 торр при откачке в течение ночи с помощью дополнительного турбомолекулярного насоса.

• Для нанесения покрытия требуется вакуумный насос. Пожалуйста, выберите один из следующих вариантов продукта

• Двухступенчатый пластинчато-роторный вакуумный насос с пароуловителем для удаления масляного тумана, который может достигать разрежения до 1,0-2 Торр для испарения благородных металлических материалов, таких как золото, серебро и органические материалы. Антикоррозийный диафрагменный манометр входит в комплект

• Компактная турбомолекулярная вакуумная насосная система способна обеспечить уровень вакуума до 1.0E-5 Торр для испарения чувствительных к кислороду материалов, таких как Al. Mg, Li и т. Д. В комплект поставки насоса входит комбинированный манометр Пирани и холодный катод для измерения вакуума до 1,0-8 Торр.

Вход газа

• 1/4 трубный фитинг встроен для продувки камеры или процесса формовочного газаing

• Встроен один игольчатый клапан для регулирования расхода газа.

Размер кварцевой камеры

Внешний диаметр : 280 мм (11 дюймов ) , внутренний диаметр: 260 мм (10,2 дюйма), длина: 310 мм (12,2 дюйма)

Гарантия

Ограниченная гарантия сроком на один год с пожизненной поддержкой

Нетто

80 кг