CY-поточная система магнетронного распыления

0р.
Производители
Модель: CY-поточная система магнетронного распыления
Склад Есть в наличии
Просмотров 680

Характеристики

  • Вакуумная система молекулярный насос, механический насос, задвижка
  • Давление воздуха ≤8 × 10 -5 Па (после дегазации выпечки), ≤6,6 × 10 -4 Па (после дегазации выпечки)
  • Загрузка камеры для образцов цилиндрическая камера со слоем, размер: 250 × 420 мм
  • Основная камера напыления квадратная вакуумная камера, размер: 1000 × 700× 350 мм

Описание товара

Система магнетронного распыления CY-in-line в основном состоит из камеры загрузки образца, камеры распыления, выходной камеры образца, механизма переноса подложки, системы откачки и измерения вакуума, системы газового контура, электронной системы управления и крепления основание. Кроме того, после модернизации система будет иметь 5-камерную структуру: загрузочная камера для образцов, 3 независимых камеры для распыления, выходная камера для образцов; ВЧ источник питания добавлен для обеспечения функции подготовки диэлектрической пленки и непрерывного нанесения покрытия.

Характеристики системы магнетронного напыления CY-in-line:

Основная камера напыления

Квадратная вакуумная камера, размер: 1000 × 700× 350 мм

Загрузка камеры для образцов

Цилиндрическая камера со слоем, размер: 250 × 420 мм

Вакуумная система

Молекулярный насос, механический насос, задвижка

Максимальное давление

Основная камера напыления

≤8 × 10 -5 Па (после дегазации выпечки)

Загрузка камеры для образцов

≤6,6 × 10 -4 Па (после дегазации выпечки)

Вакуум 

время восстановления

Основная камера напыления

Может достигать 6,6 × 10 -4 Па за 40 минут (система открыла атмосферу на короткое время и заполнена сухим азотом для начала откачки)

Загрузка камеры для образцов

Может достигать 6,6 × 10 -3 Па за 20 минут (система на короткое время подвергала воздействию атмосферу и заполнялась сухим азотом для начала откачки)

Магнитный целевой компонент

Размер прямоугольной мишени: 450 × 45 мм.

Расстояние между мишенью и образцом: 80 мм регулируется

Платформа для нагрева подложки

Размер подложки

125 × 125 мм или 156 × 156 мм, одновременно можно установить 4 образца

Температура нагрева

Температура в помещении: 400  ± 2  , регулируемая

Система газового контура

Регулятор массового расхода 3 контура

Занятое пространство

Основной модуль

2655 × 930 мм²

Электрический шкаф

700 × 700 мм² (два)

Послепродажное обслуживание

после доставки товара CYKY предоставляет один год бесплатного послепродажного обслуживания. Метод обслуживания ограничивается удаленной технической поддержкой, такой как консультации по телефону, видео-инструкции, инструкции по электронной почте и рассылка дополнительных принадлежностей.Если клиенту необходимо отправить кого-нибудь для оказания услуг «от двери до двери», клиент должен оплатить дорожные расходы и заработную плату обслуживающего персонала во время деловой поездки.

Написать отзыв

Примечание: HTML разметка не поддерживается! Используйте обычный текст.
    Плохо           Хорошо
Защита от роботов


Наверх
Яндекс.Метрика