Лабораторная установка для нанесения покрытий методом магнетронного напыления постоянного тока с 2-дюймовым источником мишени

Входная мощность

220VAC 50/60 Гц, однофазный

2000 Вт (включая насос)

Источник питания

Источник питания не является обязательным с одним источником питания RF

Источник постоянного тока: 500 Вт для покрытия металлических материалов (внизу слева)

Головка для магнетронного распыления

Одна 2-дюймовая головка для магнетронного распыления с кожухами водяного охлаждения входит в комплект для подключения дополнительного источника питания

Головка водяного охлаждения: требуется поток воды 10 мл / мин

Вакуумная камера

Вакуумная камера: диаметр 300 мм x высота 300 мм, изготовлена ​​из кварца высокой чистоты

Держатель образца

Размер держателя образца: 185 мм

Скорость вращения: регулируемая 1-20 об / мин

Температура держателя регулируется от RT до 500 ℃ Max с точностью +/- 1,0 ℃.

Вакуумная насосная станция

1. Высокоскоростная турбо-вакуумная насосная система устанавливается непосредственно на вакуумную камеру на макс. уровень вакуума 

2. Двухступенчатый механический насос для тяжелых условий эксплуатации подключен к турбонасосу для увеличения скорости насоса.

3. В комплект входит мобильная насосная станция, и компактная установка для нанесения покрытия распылением может быть установлена ​​наверху станции.

4. Макс. уровень вакуума: 10 ^ -6 торр при камерной выпечке

Монитор толщины

1. В камеру встроен один прецизионный кварцевый датчик толщины для контроля толщины покрытия с точностью 0,10 Å.

2.  Внешний блок светодиодного дисплея может:

Исходный материал для покрытия согласно базе данных прилагается

Отображение общей толщины покрытия и скорости нанесения покрытия

3. В комплект входят 5 кварцевых датчиков (расходные материалы). 

4. Требуется водяное охлаждение.

Гарантия

Ограниченная гарантия сроком на один год с пожизненной поддержкой