+7 (495) 646 49 88
с 9:00 до 20:00, zakaz@cykylab.ru
г.Долгопрудный, Промышленный пр-д, д.10
Двухцелевой ВЧ магнетронный распылитель с двумя датчиками толщины пленки CY-MSP300S-2RF-2FG

Двухцелевой ВЧ магнетронный распылитель с двумя датчиками толщины пленки CY-MSP300S-2RF-2FG

0 отзывов
0р.
Производители
Модель: CY-MSP300S-2RF-2FG
Склад Есть в наличии
Просмотров 697

Характеристики

  • Вес (кг) 300
  • Мощность 2,5кВт
  • Напряжение питания 220 В переменного тока 50 Гц
  • Размеры 600 мм × 650 мм × 1280 мм

Описание товара

Установка для нанесения покрытий с двухцелевым ВЧ магнетронным распылением оснащена двумя источниками ВЧ мощности мощностью 300 Вт. Источник питания ВЧ можно использовать для изготовления неметаллических пленок. Эти две мишени могут удовлетворить потребности в многослойных покрытиях. Если у клиентов есть другие потребности в покрытии, источник питания RF и импульсный источник питания можно настроить. Доступны различные типы источников питания от 300 Вт до 1000 Вт с различными характеристиками.
Машина для нанесения покрытий имеет двухканальный высокоточный массовый расходомер. Если у клиентов есть другие требования, газовый канал до четырехканального массового расходомера может быть настроен для удовлетворения сложных требований газовой среды. Прибор оснащен усовершенствованной группой турбомолекулярных насосов, а предельный вакуум составляет до 1.0E-5Pa, другие типы молекулярных насосов доступны для покупки.
Кроме того, эта машина оснащена двумя высокоточными датчиками толщины пленки, которые могут соответствовать требованиям к определению толщины пленки во время процесса нанесения покрытия. Если клиентам необходимо установить несколько датчиков толщины пленки, они также могут связаться с нашим техническим персоналом для настройки.
Этот продукт может быть оснащен встроенным промышленным компьютером для управления системой. В компьютерной программе можно реализовать большинство функций, таких как управление вакуумным насосом и управление мощностью распыления, что может еще больше повысить эффективность вашего эксперимента.

Применение двухцелевого ВЧ магнетронного распылителя:

Это устройство может использоваться для изготовления однослойных или многослойных сегнетоэлектрических тонких пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок, оксидных пленок, твердых пленок, пленок из ПТФЭ и т.п. По сравнению с аналогичным оборудованием, установка для нанесения покрытий методом магнетронного распыления с двумя мишенями не только широко используется, но также имеет преимущества небольшого размера и простоты эксплуатации, а также является идеальным оборудованием для изготовления пленок материалов в лаборатории.

Технические параметры установки для нанесения покрытий с двухцелевым ВЧ магнетронным распылением:

Примерный этап

Размер

φ185мм

Температура нагрева

Макс 500 ℃

Точность температуры

± 1 ℃

Скорость вращения

1-20 об / мин регулируется

Головка для магнетронного распыления

Количество

2 дюйма × 2 (1 дюйм, 2 дюйма опционально)

Режим охлаждения

Водяное охлаждение

Охладитель воды

Чиллер с циркуляцией воды с расходом 10 л / мин

Вакуумная камера

Размер камеры

φ300 мм × 300 мм

Материал камеры

Нержавеющая сталь

Окно просмотра

φ100 мм

Режим открытия

Верхняя крышка открыта

 Массовый расходомер

2 канала; диапазон измерения 100SCCM; 100SCCM (можно настроить в соответствии с потребностями клиента)

Вакуумная система

Модель

CY-GZK103-A

Молекулярный насос

CY-600

Резервный насос

Пластинчато-роторный насос

Максимальный вакуум

1.0E-5 Па

Насосный интерфейс

KF40

Выхлопной интерфейс

KF16

Измерение вакуума

Составной вакуумметр

Источник питания

AC; 220 В 50/60 Гц

Скорость откачки

Молекулярный насос: пластинчато-роторный насос 600 л / с: 1,1 л / с  

Всесторонняя перекачка газа: вакуум до 1.0E-3Pa за 20 минут

Конфигурация мощности

Количество

Источник питания RF × 2

Максимальная выходная мощность

RF 300 Вт

Прочие параметры

Напряжение питания

220 В переменного тока, 50 Гц

Суммарная мощность

2,5 кВт

Общий размер

600 мм × 650 мм × 1280 мм

Общий вес

Около 300 кг


Написать отзыв

Примечание: HTML разметка не поддерживается! Используйте обычный текст.
    Плохо           Хорошо
Защита от роботов


Наверх
Яндекс.Метрика