Малая установка для нанесения покрытий методом магнетронного распыления с двойным источником распыления
- Плазменный очиститель
- Аккумуляторное R&D оборудование
- Аксессуары
- Атмосферная печь
- Вакуумная печь
- Газоанализатор
- Лабораторная мельница и смеситель
- Лабораторное оборудование для нанесения покрытий
- Лабораторный гидравлический пресс
- Лабораторный электроспиннинг
- Магнетронное напыление
- Машина для нанесения покрытий Doctor-Blade
- Муфельная печь
- Окунание
- Перчаточные боксы
- Печь для выращивания кристаллов
- Плавильная печь
- Режущая пила
- Система CVD
- Система распыления пиролиза
- Стоматологическая печь
- Трубчатая печь
- Установка для плазменного напыления
- Устройство для нанесения покрытий с термическим испарением
- Центрифугирование
- Шлифовально-полировальный станок
- Шприцевой насос
Ваша корзина покупок пуста!
Характеристики
- Вес (кг) 30
- Мощность 2кВт
- Напряжение питания 220 В переменного тока 50 Гц
- Размеры 550 мм x 550 мм x 1100 мм
Описание товара
Примерный этап | Размер | φ150 мм |
Скорость вращения | 0-20 регулируемый | |
Обогрев | До 500 ℃ | |
Мишень для магнетронного распыления | Количество | Двойные мишени 2 дюйма x2 разделяют перегородку |
Вакуумная камера | Размер камеры | φ210 мм x 230 мм |
Материал камеры | SS304 нержавеющая сталь | |
Окно наблюдения | φ40 мм | |
Метод открытия | Передняя дверь | |
Вакуумная система | Механический насос | Импортный безмасляный диафрагменный насос |
Насосный интерфейс | KF16 | |
Молекулярный насос | Импортный молекулярный насос | |
Насосный интерфейс | KF40 | |
Выхлопной интерфейс | KF16 | |
Измерение вакуума | Датчик сопротивления + датчик ионизации | |
Максимальный вакуум | 1.0E-3Pa | |
Скорость откачки | Безмасляный насос 0,49 л / с Молекулярный насос: 40 л / с | |
Источник питания | 220 В переменного тока 50/60 Гц | |
Конфигурация мощности | Количество | Источник питания постоянного тока x1 RF источник питания x1 |
Максимальная выходная мощность | Блок питания постоянного тока 500 Вт Блок питания RF 500 Вт | |
Другой | Напряжение питания | 220 В переменного тока, 50 Гц |
Суммарная мощность | 2кВт | |
Общий размер | 550 мм x 550 мм x 1100 мм |