+7 (495) 646 49 88
с 9:00 до 20:00, zakaz@cykylab.ru
г.Долгопрудный, Промышленный пр-д, д.10
DC / RF Двухголовочная установка для нанесения покрытий с двумя головками, 2 дюйма, магнетронно-плазменным напылением

DC / RF Двухголовочная установка для нанесения покрытий с двумя головками, 2 дюйма, магнетронно-плазменным напылением

0 отзывов
0р.
Производители
Модель: CY-VTC-600-2HD
Склад Есть в наличии
Просмотров 957

Характеристики

  • Вес (кг) 200
  • Мощность 2000 Вт (включая насос)
  • Напряжение питания 220 В переменного тока 50 Гц

Описание товара

Двухголовочная установка для нанесения покрытий с 2-дюймовым магнетронным плазменным напылением в высоком вакууме CY-VTC-600-2HD представляет собой компактную систему магнетронного напыления с двумя 2-дюймовыми целевыми источниками, например, одним источником постоянного тока для покрытия металлической пленки и другим источником RF для покрытия неметаллических материалов. Включен трекер толщины пленки, чтобы пользователь мог легко контролировать процесс обработки. Это устройство для нанесения покрытий предназначено для покрытия как одного, так и нескольких слоев пленки для широкого диапазона материалов, таких как сплавы, сегнетоэлектрики, полупроводники, керамики, диэлектрики, оптики, ПТФЭ и т. Д. По невысокой цене.

Базовая информация

Номер модели: CY-VTC-600-2HD
Покрытие: установка плазменного напыления
Сертификация: CE
Название продукта: DC / RF Dual-Head Magnetron Plasma Sp
Источник RF: 300 Вт
Транспортный пакет: деревянный ящик
Происхождение: Китай
Тип: Линия по производству покрытий
Подложка: керамика и металл
Состояние: Новое
Источник постоянного тока: 500 Вт
Торговая марка: CYKY
Спецификация: система плазменного напыления

Спецификация установки для нанесения покрытий методом плазменного напыления с двойной головкой
 

Входная мощность220 В переменного тока 50/60 Гц, однофазный 
2000 Вт (включая насос)



Источник питания		Два источника питания для распыления интегрированы в один блок управления.  
Источник постоянного тока: 500 
Вт для покрытия металлических материалов.  Источник RF: 300 Вт для покрытия неметаллических материалов.







Головка для магнетронного распыления		В комплект входят две 2-дюймовые головки для магнетронного распыления с кожухами водяного охлаждения. 
Одна из них подключена к источнику радиочастотного излучения для непроводящих материалов. Вторая 
подключена к источнику постоянного тока для покрытия металлических материалов. 
Требуемый размер: диаметр 2 дюйма. 
Диапазон толщины: 0,1 - 5 мм для как металлические, так и непроводящие мишени (включая опорную пластину) 
Одна мишень из  меди и одна мишень из плавленого SiO2 включены для демонстрационных испытаний.
Рекомендуемый метод покрытия <ol list-paddingleft-2 ">

  • Устройство для нанесения покрытий по индивидуальному заказу: две головки постоянного тока без высокочастотного распыления; две ВЧ-головки без распыления постоянного тока; 3 RF головки доступны по запросу

  • Дополнительно: RF-кабель длиной 148 см заменяется за дополнительную плату

Вакуумная камераВакуумная камера: диаметр 300 мм, высота 300 мм, изготовлена ​​из нержавеющей стали. 
Смотровое окно: диаметр 100 мм. 
Откидная крышка сверху с пневматической силовой стойкой упрощает замену мишени



Держатель образца		Размер держателя образца: диаметр 140 мм. для. 4-дюймовая пластина макс. 
Скорость вращения держателя образца регулируется: 1 - 20 об / мин для равномерного покрытия. 
Температура держателя регулируется от RT до 500 ° C Макс. С точностью +/- 1,0 ° C.
Контроль расхода газа
 		Установлены два прецизионных цифровых MFC (контроллер массового расхода), позволяющие заполнять два типа газов. 
Скорость потока: 200 мл / мин макс. (0-200 SCCM) 
Скорость потока регулируется на 6-дюймовой сенсорной панели управления.
Вакуумная насосная станция
 		Высокоскоростной турбо-вакуумный насос (производства Германии) устанавливается непосредственно на вакуумную камеру на макс. уровень вакуума  
Двухступенчатый механический насос для тяжелых условий эксплуатации, 220 л / мин (7,8 кубических футов в минуту), подключенный к турбонасосу для более высокой скорости 
откачки В комплект входит мобильная насосная станция, и компактная установка для нанесения покрытия распылением может быть размещена наверху станции 
Стандартный уровень вакуума: <4x10 ^ -5 Торр. Максимум. уровень вакуума: 10 ^ -6 торр при камерной выпечке
Охладитель воды
 		Один охладитель рециркуляционной воды с цифровым контролем температуры включен для охлаждения обеих распылительных головок с магнетроном. 
Диапазон охлаждения: 5 ~ 35 ° C 
Скорость потока: 16 л / мин


Варианты		Точный монитор толщины кварцевой пленки доступен по запросу для встраивания в камеру для контроля толщины покрытия с точностью 0,10 Å. 
Для измерения толщины пленки после нанесения покрытия доступны системы анализа тонких пленок и покрытий с возможностью измерения.

Габаритные размеры
Крышка закрыта: 48 дюймов × 28 дюймов × 32 дюйма Крышка открыта: 48 дюймов × 28 дюймов × 37 дюймов
Нетто200 кг
ГарантияОграниченная гарантия сроком на один год с пожизненной поддержкой

Написать отзыв

Примечание: HTML разметка не поддерживается! Используйте обычный текст.
    Плохо           Хорошо
Защита от роботов


Наверх
Яндекс.Метрика