Компактная установка для плазменного распыления с 3 распылительными головками и вращающимся столиком CY-PSP180G-3TA-RS

Модель продукта

CY-PSP180G-3TA-RS

Примерный этап

Размер

100 мм  

Скорость вращения

Регулируемый 1 ~ 20 об / мин

Источник плазменного напыления

Количество

2 дюймаx3

Метод охлаждения

Естественное охлаждение

Вакуумная камера

Размер камеры

φ 180 мм x 210 мм   

Окно наблюдения

Всенаправленная видимость

Материал камеры

Кварц высокой чистоты

Открытый метод

Съемная верхняя крышка

Материал верхней и нижней крышки

304 нержавеющая сталь

Насосный порт

KF16

Впускной порт

Соединитель с наконечником 1/4 дюйма

Конфигурация мощности

Количество

Источник питания постоянного тока x1

Выходная мощность

Максимум. 150 Вт

Мощность распыления

1200 В

Максимум. ток распыления

50 мА

Вакуумная система

Тип вакуумного насоса

Двухступенчатый пластинчато-роторный вакуумный насос

Насосный порт

KF16

Выхлопной интерфейс

KF16

Скорость откачки

1,1 л / с ( 4 м 3 / ч )

Максимальный вакуум

≥ 0,1 Па

Измерение вакуума

Вакуумметр сопротивления

Другие

Источник питания

220 В переменного тока 50 Гц

Суммарная мощность

1,5 кВт

Размер

500 мм x 320 мм x 470 мм

Вес

30кг