Система распылительного пиролиза с высокой производительностью

Форсунки

• Две форсунки включены

o Форсунка для нанесения толстопленочного покрытия

o Ультразвуковая распылительная головка (с подачей сжатого воздуха) с генератором 150 Вт 120 кГц для вязкости раствора <30 сП.

• Один цифровой FMC включен для подачи сжатого газа с постоянным давлением для распылительной насадки.

Шприцевой насос

• В комплект входят четыре шприцевых насоса. Три для раствора, который нужно смешать и покрыть, и один для очистки D водой.

• Стандартная емкость шприца: 60 ​​мл (возможна другая емкость)

• Диапазон линейной скорости: 1 мкм / мин - 120 мм / мин регулируется (скорость потока = линейная скорость x площадь поперечного сечения в шприце)

• Точность: ≦ ± 0,5% (при> 30% полной шкалы)

• Управление: шприцевые насосы управляются либо с цифровой панели управления, либо с главной панели управления с сенсорным экраном.

Смешивание раствора

• Три типа растворов будут смешаны и диспергированы в контейнере для образцов перед распылением.

• Размер контейнера: Φ25 × 100 мм В (~ 50 мл)

• Скорость вращения лезвия: 120 об / мин.

Нагреваемая вакуумная камера

• Камера изготовлена ​​из нержавеющей стали.

• Размер камеры: 650 × 600 × 500 мм.

• Макс. Предел вакуума: 20 торр с помощью ручного насоса, который входит в комплект.

• Регулировка температуры с помощью 30-сегментного программируемого контроллера с +/- 10 ° C.

Платформа обработки

• Прецизионный механизм перемещения XYZ встроен в вакуумную камеру, которая перемещает распылительное сопло в желаемое положение для локального нанесения покрытия.

o Расстояние перемещения: (ось XY) 200 мм Макс. ось Z: 60 мм Макс.

o Скорость перемещения: 1 мм / с - 12 мм / с

• Один комплект подложек с маской из 36 цилиндров встроен в дно камеры.

• Стандартный размер цилиндрической маски: диаметр 18 мм. Другие размеры доступны по запросу.

• Нагревательная пластина устанавливается в нижней части пластины-подложки для пиролизной обработки.

o Диапазон температур: RT - 500 ℃ Макс. (<30 минут)

o Температурная однородность: ≤ ± 5 ℃

Устройство управления

• 7-дюймовая сенсорная панель управления установлена ​​на передней части камеры, которая программирует и контролирует все параметры опрыскивания.

• Время вакуумирования и продувки инертным газом можно программировать.

• Скорость потока и время распыления в трех шприцевых насосах на каждую цилиндрическую маску можно запрограммировать для формирования разного состава и автоматического нанесения покрытия на 36 позиций.

• 128 рецептов могут быть сохранены на панели управления для автоматического управления одной кнопкой.

• Доступен ручной режим работы для нанесения покрытия от точки к точке.

• Программное обеспечение для работы с ПК предоставляется по запросу за дополнительную плату.

Размер

  1100L × 730W × 1500 H мм

Нетто

1000 кг

Гарантия

Ограниченная гарантия сроком на один год с пожизненной поддержкой (доступна демонстрационная версия перед покупкой)

Предупреждение

Максимальное давление в камере 0,02 МПа. В камеру встроен клапан сброса давления для защиты от избыточного давления.