+7 (495) 646 49 88
с 9:00 до 20:00, zakaz@cykylab.ru
г.Долгопрудный, Промышленный пр-д, д.10
Двухзонная печь Css для быстрой термической обработки вафли диаметром до 5 дюймов при макс. 800c

Двухзонная печь Css для быстрой термической обработки вафли диаметром до 5 дюймов при макс. 800c

0 отзывов
0р.
Производители
Модель: CY-OTF-1200X-RTP-II-5
Склад Есть в наличии
Просмотров 702

Описание товара

OTF-1200X-RTP-II - это печь для быстрой термической обработки с двумя зонами нагрева и кварцевым диаметром 11 дюймов. трубка. 
Он разработан для нанесения пленочного покрытия PVD или CSS (сублимационная сублимация) диаметром до 3 дюймов или площадью 2 x 2 дюйма. Печь обогревается двумя группами галогенных нагревателей (верхний и нижний) отдельно со скоростью нагрева макс. 20 ° C / с. . Два 30-сегментных прецизионных регулятора температуры встроены с точностью +/- 1ºC. Порт RS485 и управляющее программное обеспечение включены для обеспечения работы печи и регистрации температурного профиля через ПК. Это отличный инструмент для исследования тонких пленок нового поколения для солнечной энергии. элемент, такой как солнечные элементы из CdTe, Sufide и Perovskite  

Базовая информация
Номер модели: CY-OTF-1200X-RTP-II-5
Структура: Рабочий стол
Сертификация: CE, TUV
Тип: Тип отопления
Регулятор температуры: цифровой
Термопара: Тип K
Торговая Марка: CY
Спецификация: OD. 200 мм
Код ТН ВЭД: 85141090
Индивидуальные: Индивидуальные
Материал: сплав
Применение: Школа
Вакуумный фланец: нержавеющая сталь
Рабочая температура: 800 ° C
Гарантия: один год
Транспортный пакет: деревянный ящик
Происхождение: Чжэнчжоу, Китай


Структура печи  
 Вакуумная камера
 
 		Печь, два регулятора температуры, двухканальные расходомеры газа интегрированы в передвижную раму из алюминиевого сплава 
. Камера изготовлена ​​из кварцевой трубки высокой чистоты. 
Размер кварцевой трубки: наружный диаметр 11 дюймов / внутренний диаметр 10,8 дюйма x 9 дюймов 
Вакуумные фланцы изготовлены из Нержавеющая сталь 316
Вакуумные фланцыВерхний фланец с одним вакуумным портом KFD-25 и одним выходным отверстием для газа (требуется труба 1/4 дюйма) может перемещаться вверх или вниз вручную, чтобы легко загружать и выгружать субстрат и испарившийся материал. 
Нижний фланец имеет один вакуумный порт KFD-25 с одним входом для газа ( Требуется труба 1/4 ") с игольчатыми клапанами 
Фланец уплотнен двойными силиконовыми уплотнительными кольцами и может достигать макс. давление вакуума 10E-2 Торр качественным механическим насосом и 10E-5 Торр молекулярным насосом.  
На верхнем фланце установлен цифровой вакуумметр.  
Прецизионный цифровой вакуумметр от коррозии не является обязательным за дополнительную плату (рис. 2).
Расходомеры газа
 
 		Смеситель газа, интегрированный с двумя поплавками с регулируемыми диапазонами измерения: 
16 - 160 мл / м;  
500 - 5000 мл / м (для продувки)
Нагреватель и 
держатель образца
 
 		Два независимо управляемых нагревателя с регулируемым вручную зазором от 2 до 30 мм.  
20 шт. Галогенные лампы используются в качестве нагревательного элемента для быстрой термической обработки. 
Нагреватели изготовлены из нержавеющей стали с водяной холодной рубашкой, чтобы уменьшить тепловое излучение и обеспечить быстрое охлаждение. 
Круглый держатель пластин диаметром 5 дюймов встроен в верхний нагреватель для удержания подложки. 
В комплект входит один набор пластин AlN с высокой теплопроводностью ( диаметром 5 дюймов x 0,5 мм толщиной) (поместите на тыльную сторону подложки, чтобы она нагрелась равномерно) . 
Охладитель с рециркуляцией воды 16 л / мин включен для экономии воды.
Регулятор температурыДва прецизионных цифровых регулятора температуры с 30 программируемыми сегментами предлагают независимое управление верхним и нижним нагревателями. 
Каждый контроллер имеет функцию автонастройки ПИД-регулятора для защиты нагревателей от перерегулирования и функцию аварийной сигнализации, чтобы избежать перегрева и нарушения термопары. 
Интерфейс связи с ПК и программное обеспечение установлены для (щелкните изображение ниже для деталей) запись температурного профиля, показанного ниже
Рабочая температураМаксимум. температура для каждого нагревателя: <= 800ºC 
Макс. разница температур между двумя нагревателями: <= 300ºC в зависимости от расстояния между двумя нагревателями: 
Расстояние 30 мм        
Макс. разница температур: 315ºC только при нагревании дна
Скорость нагрева и охлажденияНагрев:> 8ºC / с (только обогрев одиночного нагревателя) 
Охлаждение:> 10ºC / s (600 - 100ºC) Макс.
Тепловая параДве термопары типа К устанавливаются отдельно на верхний и нижний нагреватели.
Рабочее напряжение208 - 240 В переменного тока, однофазный, воздушный выключатель на 20 А
Требования к мощностиВсего 2200 Вт (1100 Вт на каждый нагреватель)
ГарантияОграничение на один год с пожизненной поддержкой
Размеры1085 мм Д x 680 мм Ш x 1710 мм В


Написать отзыв

Примечание: HTML разметка не поддерживается! Используйте обычный текст.
    Плохо           Хорошо
Защита от роботов


Наверх
Яндекс.Метрика