Краткое описание
Роторный PECVD с одной зоной нагрева, оснащенный вакуумным автоматическим питателем и интерфейсом KF40, зарезервированным на конце трубы печи, может быть подключен к приемному резервуару. Пита...
Роторный PECVD с одной зоной нагрева, оснащенный вакуумным автоматическим питателем и интерфейсом KF40, зарезервированным на конце трубы печи, может быть подключен к приемному резервуару. Пита...